Pièces usinées CNC à semi-conducteurs
Nous fabriquons sur mesurepièces usinées CNC à semi-conducteursà partir de dessins clients et de fichiers CAO, y compriscomposants de chambre à vide, plaques et raccords de distribution de gaz, pièces de manipulation et de serrage de plaquettes, composants de pompe et de vanne, pièces RF, plaques de refroidissement, dissipateurs thermiques et composants de kit de processus. Nos capacités de tournage, fraisage, usinage 5-axes, CNC suisse et tournage-fraisage prennent en charge les composants à tolérance stricte pour les équipements de gravure, de dépôt, de lithographie, d'implantation ionique, de CMP et de métrologie.
Les pièces d’équipements semi-conducteurs vivent dans un monde différent de celui des pièces industrielles ordinaires : elles doivent survivreexigences relatives au vide, aux gaz de processus corrosifs, au plasma, aux cycles de température et au contrôle des particules-. La sélection des matériaux est donc la première décision dans tout projet d'usinage de semi-conducteurs. Nous usinons des qualités exactes -316L VIM-VAR et acier inoxydable 316L, aluminium 6061-T6 et 7075-T6, titane grade 5, molybdène TZM, cuivre OFHC C10100, alliages de nickel et plastiques techniques PEEK/PTFE- et appliquez des finitions compatibles avec les salles blanches-là où l'application les requiert. Les pièces sont fabriquées selon les dimensions, tolérances, matériaux et exigences de finition spécifiées, avec des certificats de matériaux disponibles sur demande.
Qu'il s'agisse de prototypes uniques pour le développement de nouveaux outils ou de séries de production répétées pour des kits de processus de rechange, nous usinons les composants semi-conducteurs selon le dessin -, quelle que soit la quantité.
Pièces usinées CNC pour applications de semi-conducteurs
Équipement de gravure et de dépôt
Corps de chambre · revêtements de chambre · plaques de distribution de gaz · assemblages d'électrodes · bagues de focalisation · anneaux de serrage · pièces de montage pour pomme de douche
Matériels:6061-T6 · 316L VIM-VAR · Titane grade 5
Systèmes de vide et livraison de gaz
Brides à vide (CF/KF/ISO) · composants de robinet-vanne · raccords de conduite de gaz · joints faciaux de type VCR- · blocs collecteurs · pièces de montage de pompe
Matériels:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6
Manipulation et transport des plaquettes
Bras de robot · effecteurs d'extrémité · pinces à plaquettes · pinces de bord · composants de cassette · pièces d'élévateur et de fourche · supports cinématiques
Matériels:6061-T6 · 7075-T6 · · Cuivre-béryllium C17200 · Titane grade 5
Pièces d'implantation ionique et de ligne de lumière
Composants de la ligne de lumière · électrodes · ouvertures · pièces de suppression et d'extraction · boucliers haute-température
Matériels:Molybdène TZM · Tungstène W · Tantale Ta-2,5W
Composants de puissance RF et plasma
Connecteurs RF · boîtiers de traversée · porte-électrodes · pièces de blindage · ressorts de contact
Matériels:C10100 Cuivre OFHC · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L
Gestion thermique et CMP
Plaques de refroidissement · composants du refroidisseur · dissipateurs thermiques · pièces de tête CMP · bagues de retenue · composants du plateau
Matériels:Cuivre C10100 OFHC · 6061-T6 · 316L
Équipement de métrologie et d'inspection
Supports optiques · composants de scène · plaques de base · dispositifs d'alignement · pièces de montage cinématiques
Matériels:6061-T6 · 7075-T6 · Titane grade 5
Équipement de traitement et de nettoyage par voie humide
Composants du réservoir et du bain · bras gicleurs · porte-buses · pièces de rouleaux et de brosses · raccords résistants aux produits chimiques-
Matériels:316L · Hastelloy C-276 · Titane grade 2
Pièces usinées CNC pour semi-conducteurs que nous fabriquons
Composants de la chambre à vide
Corps de chambre, couvercles, revêtements et anneaux de montage avec planéité contrôlée, surfaces d'étanchéité et faibles exigences de dégazage.
Matériels:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L
Brides et raccords à vide
Brides CF (ConFlat), KF et ISO, raccords, adaptateurs et raccords de conduite de gaz pour service UHV.
Matériels:316L VIM-VAR · 316L · 304L
Plaques et buses de distribution de gaz
Plaques de distribution, buses d'injection et matériel de montage de pomme de douche percés avec précision.
Matériels:6061-T6 · Titane grade 5 · 316L
Pinces, anneaux et poignées pour plaquettes
Bagues de mise au point, bagues de serrage, poignées de bord et guides de tranches avec planéité et contrôle dimensionnel serrés.
Matériels:6061-T6 · C17200 · Titane grade 5
Bras de robot et effecteurs finaux
Bras de transfert de plaquettes, fourches et effecteurs terminaux avec un poids, une rigidité et un contrôle des particules équilibrés.
Matériels: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200
Composants de pompe et de vanne
Boîtiers, rotors, aubes, clapets, sièges et pièces de tige pour pompes sèches, vannes et matériel de contrôle du débit massique.
Matériels:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276
Kit de processus et pièces consommables
Pièces de kit remplaçables conçues pour des commandes répétées avec des tolérances et une propreté constantes.
Matériels:6061-T6 · Titane grade 5 · 316L VIM-VAR
Plaques de refroidissement et dissipateurs de chaleur
Plaques-refroidies à l'eau, dissipateurs thermiques et pièces de refroidissement présentant des surfaces critiques-de planéité.
Matériels:Cuivre C10100 OFHC · 6061-T6 · 316L
Composants RF et contacts
Boîtiers RF, pièces de connecteur, ressorts de contact et composants de blindage EMI.
Matériels: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Vous avez une pièce semi-conductrice personnalisée ? Envoyez votre fichier CAO
Processus d'usinage CNC pour pièces semi-conductrices
Tournage CNC
Idéal pour :Raccords · embouts · tiges de valve · rotors de pompe · buses
Idéal pour les composants cylindriques à concentricité serrée.
Fraisage CNC
Idéal pour :Corps de chambre · plaques de base · collecteurs · supports
Convient aux composants plats, prismatiques et multi-fonctionnalités.
Usinage CNC 5 axes
Idéal pour :Effecteurs terminaux · boîtiers complexes · composants RF
Usine des géométries complexes et des angles composés en une seule configuration.
Tournage CNC-Fraisage
Idéal pour :Raccords pour conduites de gaz · pièces d'accouplement avec éléments fraisés
Combine le tournage et le fraisage pour des pièces en rotation complexes.
Usinage CNC Suisse
Idéal pour :Petits raccords · composants de capteurs · broches de précision
Conçu pour les composants de précision petits, minces et à grand volume.
Rectification et affûtage CNC
Idéal pour :Surfaces d'étanchéité · sièges de roulement · alésages de précision
Utilisé pour les diamètres critiques, les ajustements et les finitions miroir (Ra 0,1 à 0,4 μm réalisable).
Matériaux d'usinage CNC pour semi-conducteurs
Pour les composants semi-conducteurs, le choix des matériaux dépend decompatibilité du vide, chimie des procédés, résistance au plasma, température, magnétisme, génération de particules et gestion thermique. Nous usinons une gamme de matériaux métalliques et plastiques techniques pour les chambres, les systèmes de gaz, la manipulation de plaquettes, les pièces RF et thermiques.
| Matériel | Notes communes | Applications typiques des semi-conducteurs | Avantages clés |
|---|---|---|---|
| Aluminium | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Corps de chambre, plaques de base, bras de robot, dissipateurs thermiques, supports | Conductivité thermique légère, anodisable et bonne ; Le 6061-T6 est la référence en matière de matériel de chambre |
| Acier inoxydable | 304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Brides à vide, raccords de gaz, pièces de vannes, matériel à haute résistance- | Résistance à la corrosion et à la température ; 316L VIM-VAR est la norme pour les services UHV à faible-dégazage. |
| Titane | Niveau 2 (CP) · Niveau 5 (Ti-6Al-4V) | Pièces de distribution de gaz, kits de traitement, matériel de traitement humide | Résistance au plasma et aux produits chimiques, haute résistance-au-poids, non-magnétique |
| Cuivre | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 Cuivre-béryllium | Pièces RF, plaques de refroidissement, ressorts de contact, matériel électrique | Excellente conductivité électrique et thermique ; OFHC idéal pour la gestion RF et thermique |
| Alliages de nickel | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Raccords résistants aux produits chimiques-, pièces à haute-température, structures de métrologie | Résistance aux produits chimiques et à la température ; Invar 36 offre une dilatation thermique proche de-zéro |
Pourquoi 316L VIM-VAR ?Pour les composants sous vide-ultra-sous vide (UHV), nous usinons316 L VIM-VAR- double-acier inoxydable fondu avec une très faible teneur en gaz et inclusions. Il dégaze moins, soude de manière plus prévisible et reste propre sous vide. Si votre dessin spécifie VIM-VAR ou 316L électropoli, nous pouvons fournir le matériau avec une certification complète.
Sélection de matériaux pour les environnements sous vide et salles blanches
Compatibilité sous vide et dégazage
Les matériaux à l'intérieur de la chambre ne doivent pas dégazer ni piéger de particules.. 316L VIM-VAR, 6061-T6 sont des choix courants ; la porosité et la finition de surface sont contrôlées pour maintenir un faible dégazage.
Résistance chimique et plasma
Les gaz de procédé halogènes et fluorés attaquent de nombreux métaux. Le molybdène TZM, le Ta-2,5W, l'Hastelloy C-276 et le titane de grade 5 sont sélectionnés pour la chimie corrosive et l'exposition au plasma.
Contrôle des particules et de la contamination
L'usure, les bords et les débris emprisonnés génèrent des particules qui tuent le rendement. Nous ébavurons chaque bord, contrôlons la rugosité de la surface et nettoyons les pièces selon les normes des salles blanches avant l'emballage.
Gestion thermique
La chaleur affecte l’uniformité du processus. Le cuivre C10100 OFHC et le 6061-T6 sont utilisés pour les plaques de refroidissement et les dissipateurs thermiques ; Le TZM et le tungstène gèrent les pièces de la ligne de lumière et de la chambre à haute température.
Propriétés magnétiques et électriques
Certains processus nécessitent des matériaux non-magnétiques tels que le titane 316L, grade 5 ; Le matériel RF et de mise à la terre utilise du cuivre OFHC C10100 et du cuivre-béryllium C17200.
Précision et stabilité
Les pièces de métrologie et de lithographie nécessitent une stabilité dimensionnelle : l'aluminium 6061-T6 et 7075-T6 et le titane grade 5 maintiennent la géométrie malgré les changements de température.
Tolérances et spécifications d'usinage CNC des semi-conducteurs
Les composants semi-conducteurs nécessitent souvent une précision au micron-sur les faces d'étanchéité, les références de montage, les surfaces de contact des plaquettes-et les alésages de précision, afin que les outils s'assemblent correctement et que les processus restent reproductibles.
| Spécification | Capacité typique | Applications typiques des semi-conducteurs |
|---|---|---|
| Dimensions linéaires | ±0,01 mm (précision à ±0,005 mm) | Pièces de chambre, plaques de base, collecteurs |
| Diamètre d'alésage et d'arbre | ±0,005–0,01 mm | Rotors de pompe, tiges de valve, raccords de précision |
| Platitude | Jusqu'à 0,01 mm/100 mm | Faces d'étanchéité, plaques de refroidissement, supports cinématiques |
| Concentricité / Faux-rond | Jusqu'à 0,01 mm | Pièces rotatives de pompe, accouplements |
| Position réelle | ±0,01 mm | Modèles de trous de boulon-, trous de distribution de gaz |
| Rugosité de la surface | Norme Ra 0,2 à 0,8 μm ; Ra 0,1–0,4 μm sur demande | Faces d'étanchéité, surfaces de contact des plaquettes-, intérieurs des chambres |
| Ébavurage des bords | Contrôlé par dessin (micro-ébavurage disponible) | Toutes les-pièces critiques en matière de particules |
| Tolérance du filetage | Selon les exigences ISO/ASME | Raccords, brides, matériel de montage |
Fonctionnalités critiques que nous contrôlons
Joint d'étanchéité et-rainures de joint torique- profondeur, largeur et finition de surface contrôlées pour les joints sous vide et fluides.
Plaquette-Surfaces de contact- contrôle de la planéité et de la rugosité pour éviter les dommages aux plaquettes et la génération de particules.
Alésages et ajustements de précision- alésages précis pour les roulements, les arbres et les composants à ajustement serré-.
Trous de distribution de gaz- taille exacte du trou, position et ébavurage pour un flux de gaz uniforme.
Caractéristiques de référence et de montage- références cohérentes pour un assemblage et un alignement reproductibles.
Finitions de surface pour les pièces CNC à semi-conducteurs
La finition de surface fait partie de la stratégie de contamination et de corrosion des équipements semi-conducteurs. La bonne finition contrôle les particules, le dégazage, la résistance chimique et le comportement électrique.
| Finition de surface | Matériaux applicables | Pièces semi-conductrices typiques | Principal avantage |
|---|---|---|---|
| Électropolissage | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Brides à vide, conduites de gaz, revêtements de chambre | Élimine les matériaux de surface et les inclusions ; réduit le dégazage et le piégeage des particules |
| Passivation | 316L · 304L · 17-4PH | Raccords, fixations, pièces de vannes | Élimine le fer libre, améliore la résistance à la corrosion |
| Anodisation de type II | 6061-T6 · 6063-T5 | Corps de chambre, plaques de base, supports | Couche isolante-résistante à la corrosion ; choix de couleurs |
| Anodisation dure (Type III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Surfaces d'usure, guides, pièces de robot | Couche de protection dure et-résistante à l'usure |
| Placage autocatalytique au nickel | 6061-T6 · 7075-T6 · Acier | Matériel de chambre, pièces du kit de traitement | Protection uniforme contre l’usure et la corrosion |
| Plaqué Or | C10100 · C11000 · 6061-T6 | Contacts RF, pièces de connecteur | Faible résistance de contact, protection contre la corrosion |
| Placage d'étain | C10100 · C11000 | Conducteurs électriques, barres omnibus | Soudabilité et protection contre la corrosion |
| Microbillage | 6061-T6 · 316L · Acier | Boîtiers, couvercles, surfaces non-critiques | Finition mate uniforme (contrôlée pour la libération des particules) |
| Nettoyage de salle blanche | Tous les matériaux | Toutes les pièces avant emballage | Nettoyage par ultrasons en plusieurs -étapes, sans huile, sans résidus,-contrôlé par les particules |
Contrôle qualité de l'usinage CNC des semi-conducteurs
Nous inspectons les dimensions critiques, les ajustements, la planéité, le faux-rond et les exigences de surface tout au long de la production pour garantir que les pièces semi-conductrices usinées CNC répondent au dessin. Pour les projets qui nécessitent une qualité documentée, nous pouvons fournir des certificats de matériaux, des rapports dimensionnels et des documents de propreté pour soutenir votre inspection entrante.
Vérification du matériel
Vérification du matériel
Contrôle dimensionnel
Inspection GD&T
Inspection des fils
Inspection de la finition des surfaces
Inspection finale
Inspection des emballages
| Article d'inspection | Équipement / Méthode | Pièces semi-conductrices typiques |
|---|---|---|
| Contrôle dimensionnel | MMT · Pieds à coulisse · Micromètres | Dimensions hors tout de la pièce |
| Diamètre d'alésage et d'arbre | Jauge d'alésage · Jauge à broches · MMT | Rotors de pompe, tiges de valve, raccords |
| Planéité et parallélisme | Plaque de surface · MMT | Faces d'étanchéité, plaques de refroidissement |
| Position réelle | MMT | Schémas de trous, plaques de distribution de gaz |
| Rugosité de la surface | Testeur de rugosité | Faces d'étanchéité, surfaces de contact des plaquettes- |
| Inspection des fils | Go/Non-Go Jauges de filetage | Ferrures et fixations |
| Vérification du matériel | Spectromètre + Certificat Matériel | Matière première entrante (EN 10204 3.1 disponible ; certification VIM-VAR sur demande) |
| Contrôle de propreté | Contrôle visuel + particules sur demande | Salle blanche-pièces livrées |
| Inspection finale | MMT + Rapport d'inspection | Acceptation dimensionnelle finale |
Besoin d’un contrôle qualité documenté ?Envoyez-nous vos dessins et exigences d’inspection.
Prototypes et-usinage CNC à faible volume pour les semi-conducteurs
Les projets de semi-conducteurs commencent souvent par des prototypes -, de nouvelles conceptions d'outils, le développement de kits de processus, des pièces de mise à niveau ou des composants de remplacement qui doivent être validés avant la production. Nous soutenonsprototype et usinage CNC-en faible volumedes échantillons initiaux pour répéter de petites-commandes par lots.
Usinage de prototypes
Pour le développement de nouveaux outils, la validation des processus et les modifications de conception.
Quantité typique :1 à 10 pièces
Production en faible-volume
Pour les systèmes pilotes, les mises à niveau d’outils et les premières séries de production.
Quantité typique :10–1,000+ pièces
Répéter la production
Pour les kits de processus de rechange et les commandes récurrentes avec des conceptions établies.
Quantité typique :Basé sur les exigences du projet
Convient pour
Chambre à vide et matériel de distribution de gaz
Composants de manipulation et de serrage des plaquettes
Pièces de gravure, dépôt et implantation ionique
Pièces de gestion RF, électrique et thermique
Appareils de métrologie et d'inspection
Pièces de rechange et kits de processus pour les outils existants
Emballage et délai de livraison pour les pièces CNC à semi-conducteurs
Conditionnement
Protection Individuelle :Sacs PE, mousse ou film protecteur pour surfaces usinées
Emballage pour salle blanche :Pièces nettoyées emballées en double-dans des sacs propres (option de purge à l'azote-disponible)
Petites pièces :Cartons cloisonnés pour éviter les rayures et le contact entre les pièces-
Pièces de précision :Inserts en mousse et compartiments séparés pour les composants critiques
Emballage personnalisé :Numéros de pièces, étiquettes, quantités et-exigences d'emballage spécifiques au client
Délai de livraison typique
| Type de commande | Délai de livraison typique |
|---|---|
| Prototype | 5 à 10 jours ouvrables |
| Faible-commande en volume | 10 à 20 jours ouvrables |
| Ordre de fabrication | 15 à 30 jours ouvrables |
| Répéter la commande | 10 à 25 jours ouvrables |
FAQ
Q : Quelles pièces usinées CNC à semi-conducteurs pouvez-vous fabriquer ?
R : Nous fabriquons des composants de chambre à vide personnalisés, des brides et des raccords de conduite de gaz, des plaques de distribution de gaz, des pinces et des anneaux pour plaquettes, des pièces de bras de robot, des composants de pompe et de vanne, des pièces de ligne de lumière d'implanteur ionique, des composants RF, des plaques de refroidissement, des dissipateurs thermiques et des pièces de kit de processus pour les équipements semi-conducteurs.
Q : Quelles tolérances d’usinage CNC pouvez-vous atteindre ?
R : Notre tolérance CNC standard est généralement de ±0,05 mm, avec un usinage de précision jusqu'à ±0,02 mm et des caractéristiques critiques sélectionnées jusqu'à ±0,005-0,01 mm, en fonction des exigences de géométrie, de matériau et de dessin.
Q : Pouvez-vous fournir du 316L VIM-VAR pour les composants sous vide ?
R : Oui. Pour un service sous vide ultra-haut-, nous pouvons usiner du 316L VIM-VAR (fondu par induction sous vide et refondu à l'arc sous vide) à faible teneur en gaz, fourni avec certification des matériaux. L'électropolissage est disponible pour réduire les dégazages et le piégeage des particules.
Q : Proposez-vous des services de nettoyage et d'emballage-compatibles avec les salles blanches ?
R : Oui. Les pièces peuvent être-nettoyées par ultrasons en plusieurs étapes, séchées et doubles-emballées dans des sacs propres (purge à l'azote en option) pour garder les surfaces exemptes de particules-pour une livraison en salle blanche.
Q : Pouvez-vous fournir des certificats de matériaux et des rapports d'inspection ?
R : Oui. En fonction des exigences du projet, nous pouvons fournir des certificats de matériaux (EN 10204 3.1, y compris la certification VIM-VAR), des rapports d'inspection dimensionnelle, des rapports CMM et des enregistrements d'état de surface.
Q : Pouvez-vous usiner des composants non-magnétiques ?
R : Oui. Nous usinons des qualités non-magnétiques, notamment l'acier inoxydable 316L, le titane grade 5, l'aluminium 6061-T6 et le PEEK pour les applications où le magnétisme doit être évité.
Q : Quelles finitions de surface appliquez-vous aux pièces semi-conductrices ?
R : En fonction du matériau et de l'application, nous proposons l'électropolissage, la passivation, l'anodisation dure de type II et de type III, le nickelage autocatalytique, le placage à l'or et à l'étain, le sablage aux billes et le nettoyage en salle blanche.
Q : Acceptez-vous les dessins 2D et les fichiers CAO ?
R : Nous pouvons travailler à partir de fichiers de dessin STEP, STP, IGES, IGS, SolidWorks, DXF et 2D courants.
Q : Prenez-vous en charge la production de prototypes et de-petits volumes ?
R : Oui. Nous prenons en charge des quantités de prototypes de 1 à 10 pièces, une production en faible volume-de 10 à 1 pièces000+, ainsi que des commandes de production répétées pour des kits de processus et des pièces de rechange.
Q : Quel est le délai de livraison typique pour les pièces CNC à semi-conducteurs ?
R : Les délais de livraison typiques sont de 5 à 10 jours ouvrables pour les prototypes, de 10 à 20 jours ouvrables pour les commandes à faible volume-et de 15 à 30 jours ouvrables pour les commandes de production, en fonction de la complexité, de la quantité, des matériaux et de la finition des pièces.
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